晶瑞電材(cai)：已啓動ArF（193）高端(duan)光刻膠研發(fā)，KrF光刻膠完成(cheng)中試

　　12月13日，晶(jīng)瑞電材在特(tè)定對象調研(yan)活動中表示(shì)，目前ArF(193)高端光(guang)刻膠🔞研發工(gōng)作已正式啓(qi)動，已完成光(guang)刻機、勻膠顯(xiǎn)影機、掃描電(diàn)🔞鏡、台♈階儀等(děng)設備購置，其(qí)中ASML1900Gi型光刻機(ji)設備正🔞在積(jī)極調試中🈲。同(tóng)時公司正在(zài)積極👣開展對(duì)上遊材料樹(shù)脂單體及配(pei)方的研究。

 

　　公(gōng)司高端KrF(248)光刻(kè)膠已完成中(zhōng)試，建成了中(zhōng)試示範線👉，已(yǐ)❄️進入客💔戶測(ce)試階段。近期(qi)已購得KrF光刻(ke)機一台，可用(yòng)于KrF光刻☂️膠的(de)曝光測試，同(tóng)時公司KrF光刻(kè)膠量産化🏃‍♂️生(shēng)産線正在積(ji)極建設中。

 

　　據(ju)晶瑞電材表(biǎo)示，此前，公司(sī)已經購得用(yòng)于負膠、g 線、i線(xian)、ArF 等 4 台光刻機(ji)，再加之此次(cì)購得的KrF光刻(kè)機，公司已經(jīng)到位5台光刻(kè)機。

 

來源：晶瑞(rui)電材官網

 

　　此(ci)外據晶瑞電(diàn)材透露，晶瑞(rui)(湖北)微電子(zi)材料項目一(yī)期目前正在(zài)設備安裝調(diao)試階段。

 

　　據悉(xi)，2025年12月，晶瑞電(diàn)材(原晶瑞股(gu)份)發布公告(gao)稱，拟在湖北(běi)省潛江市投(tóu)資建設晶瑞(ruì)(湖北)微電子(zǐ)材料項目，生(sheng)🛀産光刻膠及(ji)其相關配套(tao)的功能性材(cái)料、電子級雙(shuāng)氧水、電子級(ji)氨水等半導(dao)☎️體及面闆顯(xian)示用電子材(cai)料等，項目計(ji)劃總投資約(yue)爲人民币🌈15.2億(yi)元。

 

　　晶瑞電材(cái)在該調研活(huó)動中還表示(shi)，受益于我國(guó)半導體🔴材料(liào)行業國産替(ti)代進程提速(sù)，下遊芯片廠(chang)商需求增長(zhǎng)，當前公司主(zhǔ)導産品半導(dǎo)體級光刻膠(jiao)及配套材♍料(liào)、超淨高純試(shì)劑、锂電🌈池材(cai)料等産銷兩(liang)旺。

 

　　未來随着(zhe)公司 KrF 光刻膠(jiāo)測試完成并(bìng)逐步量産、ArF 光(guang)刻膠📞研發成(cheng)功并最終量(liang)産，以及公司(si)南通、陝西、四(sì)川🤞等基⛱️地新(xīn)增的高純硫(liu)酸、NMP、光刻膠等(děng)産品産能的(de)逐步釋放，有(yǒu)望成🌐爲公司(si)新的利潤增(zēng)長🥵點。