2025-12-13 13:00
導言:光刻膠目(mu)前廣泛用于光電(diàn)信息産業的微細(xi)圖形線路加工制(zhi)作,光刻工藝的成(cheng)本約占整個芯片(piàn)制造工藝的🌈35%,耗時(shi)占整個芯片工藝(yi)的40%到60%,是半導體制(zhi)造㊙️中的核心工藝(yì)☁️。光刻膠材料約占(zhan)芯片制造材料總(zǒng)成🛀本的4%,是半導體(tǐ)集成電路制造🔞的(de)核心材料。
中國光(guang)刻膠市場增速高(gao)于國際水平,據前(qian)瞻産業研究院數(shù)據,2019年我國光刻膠(jiao)本土供應量約70億(yi)元,自⚽2010年起複合增(zeng)速達11%,遠高于♈全球(qiu)增速,但本土供應(ying)量在全球占比僅(jǐn)10%左右,且以已經實(shí)現國🔱産替代的主(zhu)要是中低端PCB光刻(ke)膠㊙️,LCD和半導體㊙️領域(yu)的光刻膠自給🈚率(lü)極低。
光刻膠是圖(tú)形轉移介質,其利(lì)用光照反應後溶(róng)解😘度不同将✏️掩膜(mó)版圖形轉移至襯(chèn)底上,主要由感光(guang)劑(光引發劑)、聚合(hé)劑(感光樹脂)、溶劑(ji)與助劑構成。
光刻(ke)膠原材料主要爲(wèi)樹脂、溶劑和其他(ta)添加劑。其中🌈溶劑(jì)質量占比最大,一(yi)般在80%以上。其他添(tiān)加劑質量占比雖(sui)不足5%,卻是決定光(guāng)刻膠特有性質的(de)關鍵🈚材料,包‼️括光(guang)敏劑、表面活性劑(ji)㊙️等材料。
在光刻工(gōng)藝中,光刻膠被均(jun)勻塗布在矽片、玻(bo)璃和金🧡屬🐕等不同(tong)的襯底上,經曝光(guang)、顯影和蝕刻等工(gōng)序将掩👈膜版上的(de)圖形轉移🈲到薄膜(mo)上,形成與掩膜版(bǎn)完全對應的幾何(he)圖形。
光刻膠可根(gen)據其下遊應用領(ling)域分爲半導體光(guang)刻膠、面㊙️闆光刻膠(jiao)和PCB光刻膠三類。
半(ban)導體光刻膠
目前(qian),KrF/ArF仍是主流的加工(gōng)材料。光刻技術随(suí)着集成電路👄的發(fā)展⛷️經曆了從G線(436nm)光(guāng)刻,H線(405nm)光刻,I線(365nm)光刻(ke),到深紫♈外線DUV光刻(ke)(KrF248nm和ArF193nm)、193nm浸沒式加多重(zhong)成像技術(32nm-7nm),在到極(jí)端紫🏃🏻外線(EUV,<13.5nm)光刻的(de)發展,甚至采用非(fei)光學光刻(電子束(shù)曝光、離子束♈曝光(guāng)),以相✔️應波長爲感(gǎn)光波長㊙️的各類光(guang)刻膠也應用而生(sheng)。
光刻膠市場行業(ye)集中度高。日本企(qi)業在半導體光🍓刻(kè)膠🏃領域⛷️占據絕對(dui)優勢。半導體光刻(kè)膠主要生産企業(yè)♌包括日本🐆東京應(yīng)化、JSR、住友化學、信越(yuè)化學;韓國東進世(shì)美肯;美📞國陶氏杜(dù)邦,其中日本企業(yè)占據約70%市場份額(é)。分産品看🏒,東京應(yīng)化在g線/i線和Krf光刻(ke)膠領域居龍頭地(di)位,市場份額分别(bie)達到27.5%和32.7%。JSR在Arf光刻膠(jiao)領域市占率最高(gāo),爲25.6%。
根據富士經濟(ji)預測,2023年全球ArF、KrF膠産(chan)能有望達到1870、3650噸,市(shì)場規😘模近49、28億♈元。日(rì)本光刻膠龍頭JSR、TOK包(bao)括光刻膠在内的(de)業務毛利率約40%,其(qi)中光刻膠原料成(chéng)本約占90%。
國内半導(dao)體用光刻膠生産(chan)企業包括上海新(xin)陽、南大光電、晶👌瑞(ruì)股份、北京科華、恒(heng)坤股份。目前隻有(you)北京科華、晶✌️瑞股(gǔ)份具備量産KrF光刻(kè)膠能力,北京科華(huá)産品已爲中芯國(guó)際供♻️貨。上海新陽(yáng)在建的19000噸/年ArF(幹法(fǎ))光刻膠項目預計(jì)2022年達産。
面闆光刻(kè)膠
光刻膠是LCD面闆(pǎn)制造的關鍵材料(liao),根據使用對象的(de)不同,又可分爲RGB膠(jiao)、BM膠、OC膠、PS膠、TFT膠等。
面闆(pǎn)光刻膠主要包括(kuo)TFT配線用光刻膠、LCD/TP襯(chen)墊料光刻膠、彩色(sè)光刻膠及黑色光(guāng)刻膠四大類别。其(qí)中TFT配線用光刻膠(jiāo)用于對ITO布線,LCD/TP沉澱(diàn)料光刻膠用于使(shǐ)LCD兩個玻璃基闆間(jian)的液晶材料厚度(dù)保持恒定。彩色光(guang)刻膠及黑色光刻(kè)膠可📱賦予彩色濾(lü)光片顯色功能。
面(mian)闆光刻膠市場需(xū)要構成穩定,彩色(se)光刻膠需求量領(ling)先,預計2022年全球銷(xiāo)售量将達22900噸,銷售(shòu)額将達8.77億美元。
TFT面(miàn)闆用光刻膠、LCD/TP襯墊(nian)料光刻膠、黑色光(guang)刻膠銷售額2022年預(yù)計分别😘達到3.21億美(mei)元、2.51億美元、1.99億美元(yuán)。
根據智研咨詢測(cè)算,2020年全球面闆光(guang)刻膠市場規模将(jiāng)達到167億🤞人🈲民币,增(zēng)速維持在4%左右。根(gēn)據我們的測算,到(dao)2025年光刻膠市場規(gui)模将達到203億人民(min)币。其中,伴随LCD産業(ye)中心的轉移,我國(guo)LCD光刻膠市場規模(mo)及國産🍉化率有望(wang)😄逐步提升。
PCB用光刻(kè)膠
PCB光刻膠可根據(jù)塗布方式分爲UV固(gù)化油墨和UV噴塗油(you)墨。目前🔴國内PCB油墨(mò)供應商已逐步實(shi)現國産替代,容大(da)感光、廣💁信材料等(děng)企業已掌握PCB油墨(mo)關鍵技術。
國内對(dui)TFT光刻膠和半導體(ti)光刻膠仍在起步(bù)探索階段。晶瑞股(gǔ)份、雅克科技、永太(tai)科技、容大感光、欣(xīn)奕華、中電👄彩虹、飛(fēi)凱材料在TFT光刻膠(jiāo)領域均有布局,其(qí)中飛凱材🌏料、北旭(xu)電子規🧡劃産能高(gao)達5000噸/年,雅克科技(jì)通過收購💞LG化學下(xià)屬彩色光刻膠事(shi)業部切入此市場(chǎng),在渠道和技術方(fang)面具備優勢。
光刻(ke)膠等技術壁壘極(jí)高的行業,實現技(jì)術層面的突破是(shì)基礎、其次,需不斷(duàn)改進工藝,滿足半(bàn)導體行業快速發(fa)展的需要。
由于光(guāng)刻膠等行業認證(zheng)時間較長,客戶不(bu)會輕易更換🌈供♻️應(yīng)♉商,因此進入主流(liú)供應鏈是極其必(bi)要的。國内光刻膠(jiao)生産商🔞未來有望(wang)把握中國半導體(ti)行業進口替代契(qì)機,實現快速發展(zhǎn)。
◆ 資料來源:電子材(cai)料圈
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