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光刻膠 | 半導(dǎo)體高壁壘核(hé)心材料

導言(yán):光刻膠目前(qián)廣泛用于光(guāng)電信息産業(yè)的微細圖🔴形(xing)線路加工制(zhi)作,光刻工藝(yì)的成本約占(zhàn)整個芯♍片制(zhì)造工藝的35%,耗(hào)時占整個芯(xīn)片工藝的40%到(dao)60%,是半導體制(zhì)造中的核心(xīn)工藝。光刻膠(jiao)材料約占芯(xin)片制造😍材料(liao)總成本的4%,是(shì)半導體集成(cheng)電路制造的(de)核心材料。   中(zhōng)國光刻♻️膠市(shi)場增速高于(yú)國際水平,據(jù)前瞻産✊業研(yán)究院數據,2019年(nián)我國光刻膠(jiao)🌈本土供應量(liang)約70億元,自2010年(nian)起複合增速(su)達11%,遠高于全(quan)球增⭐速,但本(běn)土供應🈲量在(zài)全球占比僅(jǐn)10%左👅右,且以已(yǐ)經實現國産(chǎn)替代的主要(yao)是中低端PCB光(guang)刻膠,LCD和半導(dǎo)體領域的光(guāng)刻♊膠自給率(lǜ)極低。   光刻膠(jiāo)是圖形轉移(yi)介質,其利用(yòng)光照反應後(hòu)溶解度不同(tóng)将掩膜版圖(tú)形轉移至襯(chen)底上,主✏️要由(yóu)感光劑(光引(yin)發劑)、聚合劑(jì)🚶‍♀️(感光樹脂)、溶(rong)劑與助劑構(gou)成。   光刻膠原(yuan)材料主要爲(wèi)樹✔️脂、溶劑和(hé)其他添加劑(jì)。其中溶劑質(zhì)量占比最大(dà),一般在80%以上(shang)。其他添🐉加劑(jì)質量占比雖(sui)不足5%,卻是決(jue)定光刻膠特(te)有性質的關(guān)鍵材料,包括(kuo)光敏劑、表面(miàn)活性劑等材(cai)料。   在光刻工(gōng)藝中,光🌈刻膠(jiao)被均勻塗布(bù)在矽片、玻璃(lí)和金屬🐉等不(bú)同的襯底上(shang),經🏃🏻‍♂️曝光、顯影(yǐng)和蝕刻等工(gong)序将掩膜版(ban)上的圖形轉(zhuan)移到薄膜🎯上(shang),形成與掩膜(mó)版完全對應(yīng)的幾何圖形(xíng)。   光刻膠可根(gen)據其下遊應(yīng)用💃🏻領域💞分爲(wèi)半導體光刻(ke)膠、面闆光刻(kè)💋膠和PCB光刻膠(jiao)⛷️三類。   半♈導🏃🏻‍♂️體(tǐ)光刻膠 目前(qian),KrF/ArF仍是主流的(de)加工材料。光(guang)刻技術随着(zhe)💋集成電路的(de)發展經曆了(le)從G線(436nm)光👈刻,H線(xian)(405nm)光刻,I線(365nm)光刻(kè),到深♋紫外線(xian)DUV光刻(KrF248nm和ArF193nm)、193nm浸沒(méi)式加多重成(cheng)像技術🏃‍♀️(32nm-7nm),在到(dao)極端紫外線(xiàn)(EUV,<13.5nm)光刻的發展(zhǎn),甚至采用非(fēi)光學光💘刻(電(dian)子束曝光、離(li)子✔️束🛀🏻曝光),以(yi)相應波長爲(wèi)感光波長的(de)各類光刻膠(jiao)也應用而生(sheng)。 光刻膠市場(chǎng)行業集中度(dù)高。日本企業(yè)在半導體光(guang)刻膠領域占(zhan)據絕對優勢(shi)。半導體光刻(ke)膠主要生産(chǎn)企業包括日(rì)本東京應化(hua)、JSR、住友化學、信(xìn)越化學;韓國(guó)東進世美肯(ken);美國陶🏒氏杜(du)邦,其中日本(běn)企業占據約(yuē)70%市場份額。分(fen)産💁品看🈲,東京(jīng)應化在g線/i線(xian)和㊙️Krf光刻膠領(lǐng)域居龍頭地(di)位,市場⁉️份額(é)分别達到27.5%和(he)32.7%。JSR在Arf光刻膠領(ling)域市占率最(zuì)高,爲25.6%。 根🥵據富(fù)士經濟預測(cè),2023年全球ArF、KrF膠産(chan)能🍉有望達到(dào)1870、3650噸,市場🏃🏻規模(mo)近49、28億元。日本(běn)光刻膠龍頭(tóu)JSR、TOK包♍括光刻膠(jiao)在内的👅業務(wu)毛利率約40%,其(qí)中光刻膠原(yuan)料成本約占(zhàn)90%。 國内半導體(tǐ)用光刻膠生(sheng)産企業包括(kuò)上海新陽、南(nán)大光電、晶瑞(rui)股份、北京科(ke)華、恒坤💃🏻股份(fèn)。目前隻有北(běi)京科華、晶瑞(rui)股份具備量(liang)産KrF光刻膠能(néng)力,北京科華(huá)産✌️品已👅爲中(zhōng)芯國際供貨(huo)。上海新陽在(zai)建的19000噸/年ArF(幹(gan)法)光刻膠項(xiàng)目預計2022年達(da)産。   面闆光刻(ke)膠 光刻膠是(shì)LCD面闆制⛹🏻‍♀️造的(de)關鍵材料,根(gen)據使用對⛷️象(xiang)的不同,又可(kě)分爲RGB膠、BM膠、OC膠(jiāo)、PS膠、TFT膠等。 面闆(pan)光刻膠主要(yào)包括TFT配線用(yong)光刻膠、LCD/TP襯墊(niàn)料光刻膠、彩(cai)色光刻膠及(ji)黑色光刻膠(jiāo)四大類别。其(qi)中TFT配線用光(guang)刻膠用于對(duì)ITO布線,LCD/TP沉澱料(liào)光刻膠用于(yú)使LCD兩🈲個玻璃(li)基闆間的液(ye)晶材料厚度(du)保持恒定。彩(cǎi)色光刻⭐膠及(ji)黑色光刻膠(jiāo)可賦予彩色(se)濾光片顯色(se)功能。 面闆光(guāng)刻膠市場需(xū)要構成穩定(dìng),彩色光刻膠(jiao)需求量領先(xian)🌏,預計2022年全球(qiú)銷售量将達(dá)22900噸,銷售額将(jiang)達8.77億美元。 TFT面(miàn)闆💜用光刻膠(jiao)⛱️、LCD/TP襯墊料光刻(kè)膠、黑色光刻(ke)膠銷售額2022年(nián)預計👣分别達(dá)到3.21億美元、2.51億(yì)美元、1.99億美元(yuan)。 根據智研咨(zī)詢測算,2020年全(quan)球面闆光✂️刻(kè)膠市場📱規模(mo)将達到167億人(rén)民币,增速維(wéi)持在4%左右。根(gen)據我們的測(cè)算,到2025年光刻(kè)膠市場規模(mó)将達到203億人(rén)民币。其中,伴(bàn)随LCD産業中心(xin)的轉移,我國(guó)LCD光刻膠市場(chǎng)規模及國産(chan)化率有望逐(zhú)步提升。   PCB用光(guāng)刻膠 PCB光刻膠(jiāo)可根據塗布(bù)方式分爲UV固(gù)化油墨和UV噴(pen)🌈塗油墨。目前(qián)國内PCB油墨供(gong)應商已逐🏒步(bu)實現國産替(ti)代,容大㊙️感✉️光(guang)、廣信材料等(deng)企業已掌握(wo)PCB油墨關鍵技(ji)術。 國内對⭐TFT光(guang)刻膠和半導(dao)體光刻膠仍(réng)在起步探索(suo)階段。晶瑞股(gu)份、雅⚽克科技(jì)、永太🐅科技、容(rong)大感光、欣奕(yi)華、中電彩虹(hóng)、飛凱材料在(zai)TFT光刻膠領域(yù)均有布局,其(qi)中飛凱材料(liao)、北旭電子規(guī)劃産能高達(da)5000噸/年,雅克科(ke)技通過收購(gou)LG化學下屬彩(cai)色光刻膠事(shi)業部切入此(cǐ)市場,在渠道(dao)和✔️技術方面(miàn)📞具備優勢。 光(guang)刻膠等技術(shu)壁壘極高的(de)行業,實♉現技(jì)術⛹🏻‍♀️層面💁的突(tu)破是基礎、其(qi)次,需不斷改(gai)進工藝,滿足(zu)半導💜體行業(ye)快速發展的(de)需要。 由于光(guāng)刻膠等☎️行業(ye)認證時間較(jiao)長,客戶不會(huì)輕易更換供(gòng)應商,因此進(jin)入主流供⛷️應(ying)鏈是極其必(bì)要的。國内光(guāng)刻膠生産商(shang)未來有望把(ba)握❓中國半導(dǎo)體行業進口(kou)替代契機,實(shi)現快速📐發展(zhǎn)。   ◆ 資料來源:電(dian)子材料圈 ◆ 免(miǎn)責聲明:所載(zǎi)内容來源于(yú)互聯網,微信(xìn)公衆号等公(gong)開渠道,我們(men)對文中觀點(diǎn)持中立态度(dù),本文僅供參(cān)考、交流。轉載(zai)的稿件版權(quán)歸原作者和(hé)機構所有。

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