打破日(ri)企壟斷(duàn)隻是時(shí)間問題(ti)？東進半(ban)導體宣(xuan)布與三(san)星成功(gōng)研發EUV光(guang)刻膠

2025-12-13 07:45

　　據(ju)韓媒etnews報(bao)道，韓國(guo)東進半(ban)導體與(yu)三星電(diàn)子合作(zuo)，成功👨‍❤️‍👨開(kāi)發了超(chāo)細半導(dao)體加工(gōng)必不可(kě)少的材(cái)料——極紫(zi)外(EUV)光💚刻(kè)膠(PR)。EUV光刻(kè)‼️膠是因(yin)其技術(shù)難度高(gāo)而完全(quán)依賴國(guó)外的⛱️産(chǎn)品，此次(ci)韓國通(tong)過國内(nèi)企業合(he)作實現(xian)了國産(chan)化，意味(wei)着日企(qi)壟斷的(de)打破。

東(dōng)進半導(dao)體華城(cheng)工廠鳥(niǎo)瞰圖，來(lai)源：etnews

　　12月13日(ri)，東進半(ban)導體宣(xuan)布于近(jìn)期通過(guo)了三星(xīng)電子的(de)EUV光刻膠(jiao)可靠💃🏻性(xing)測試，發(fa)布此消(xiao)息後，截(jie)至12月13日(rì)上午11時(shí)45分，東進(jìn)半導體(ti)股價較(jiào)前一交(jiāo)易日上(shàng)漲12.8%。

　　一位(wèi)熟悉此(cǐ)事的業(ye)内人士(shi)表示，“東(dong)進半導(dao)體在其(qi)💔位于京(jīng)畿⭕道華(huá)城的工(gong)廠開發(fā)了 EUV光刻(kè)膠，并在(zài)三星電(dian)子的華(huá)城EUV生産(chan)線上對(dui)其進行(hang)了測試(shi)，并獲得(de)了最終(zhōng)的可靠(kao)性認證(zheng)。”

三星電(dian)子，來源(yuán)：etnews

　　光刻膠(jiāo)是半導(dǎo)體曝光(guāng)工藝中(zhōng)的關鍵(jian)材料。它(ta)被施加(jiā)🈲在晶🌂片(piàn)上，當用(yòng)半導體(ti)曝光設(she)備照射(shè)光時，會(huì)發生化(hua)學反💃應(yīng)并🧡改變(biàn)物理特(tè)性。通過(guo)用顯影(yǐng)劑沖洗(xǐ)掉來繪(huì)制微電(diàn)路，隻留(liu)下必要(yào)的部分(fèn)。

　　在韓國(guo)，用于KrF和(hé)ArF工藝的(de)光刻膠(jiao)已大量(liang)生産，但(dan)沒有用(yòng)于可以(yǐ)👨‍❤️‍👨繪制更(gèng)精細電(dian)路的EUV光(guang)刻膠，大(dà)部分需(xu)要🐆依賴(lài)日本進(jin)口㊙️。此外(wai)在2019年，日(ri)本與韓(hán)國爆發(fā)争議之(zhī)後曾經(jing)限制三(sān)種重要(yào)的半導(dao)體材料(liao)對韓國(guó)的出⭐口(kǒu)，EUV光刻膠(jiāo)就是其(qi)中之一(yī)，爲此韓(hán)國公司(si)👣也加快(kuai)了EUV光刻(kè)膠的研(yan)☔發，東進(jin)半導體(ti)也是其(qí)中之一(yī)。

　　今年早(zǎo)些時候(hòu)，其加強(qiang)了EUV光刻(ke)膠專家(jia)并加速(sù)了技術(shu)開💯發。此(cǐ)外，三星(xing)電子積(ji)極支持(chí)EUV測試環(huán)境，以達(dá)到可以(yi)在現❗場(chang)使用的(de)質量水(shui)平。

　　目前(qián)尚不清(qīng)楚三星(xīng)電子是(shì)否會立(lì)即将東(dōng)進半導(dao)體EUV光刻(ke)膠投入(rù)半導體(ti)生産線(xiàn)。正常情(qíng)況下，如(ru)果質量(liang)合格就(jiu)🔴會投入(ru)量産線(xiàn)✍️。因此，有(yǒu)人預測(cè)最早可(ke)能在明(ming)年上半(ban)年供應(yīng)。三🛀星電(dian)子和東(dōng)進半導(dao)體目前(qián)都拒絕(jue)就🌐本條(tiáo)新聞表(biao)态。三星(xīng)電子的(de)一位官(guān)員表示(shi)：“我們無(wu)法與合(he)作公司(si)确認測(cè)試是否(fou)通過。”

　　就(jiu)該消息(xī)而言，三(san)星與東(dong)進半導(dǎo)體研發(fā)的EUV光刻(ke)膠産品(pǐn)隻是成(cheng)功通過(guo)了測試(shi)，距離量(liàng)産時間(jiān)還不确(què)定，但✌️這(zhè)一消息(xī)也表明(ming)三星已(yi)經在EUV光(guāng)刻膠方(fang)面取得(dé)成功，量(liang)産将隻(zhi)是時💃間(jian)問題。